空氣中的化學污染物可能影響過濾器。電子工廠的排風系統(tǒng)出故障，或廠房內(nèi)的揮發(fā)性、腐蝕性氣體的泄漏都可能對過濾器造成致命傷害。E廠房和B廠房使用氫氟酸，在廠房頂部，有專門和處理排風酸霧的洗滌塔，用pH值超出8的堿溶液來清洗被排出氣體中的酸霧，使之達到排放標準。正常情況下，在此周圍的空調(diào)進風口吸進的新鮮空氣中，酸的含量幾乎可以忽略。但是，有時洗滌塔中用于中和酸霧的堿計量泵壞了，噴淋水溶液的pH值已低于5，排風酸超標，如果排風口離吸風口距離近，酸風再被空調(diào)箱吸進，就會對過濾器產(chǎn)生影響。氫氟酸和它的揮發(fā)物氟化氫對化纖材料制成的初、中效過濾器幾乎沒影響，但對玻璃纖維的HEPA過濾器影響巨大，它們腐蝕玻璃，與玻璃纖維反應生成氟化硅。我們曾觀察HEPA過濾器的濾芯，看到一層灰白色的粉末，化學分析的結(jié)果是含F(xiàn)和Si 元素的物質(zhì)。

多數(shù)情況下，對設(shè)計合理的空調(diào)系統(tǒng)，空氣中的氟化氫含量不高，過濾器被腐蝕的現(xiàn)象不很嚴重?？膳碌氖?，現(xiàn)場常規(guī)過濾器檢測手段無法發(fā)現(xiàn)過濾器是否受到氟化氫腐蝕，更無法判定腐蝕程度。而HEPA空氣過濾器受到腐蝕可能引發(fā)嚴重的生產(chǎn)和安全事故。

C工廠曾發(fā)生過一起嚴重的酸霧影響HEPA過濾器的事件。在彩色顯象管涂層工序，出現(xiàn)廢品時，需要用較濃的酸溶液清洗掉玻璃表面的涂層，有時廢品較多，酸霧來不及從工位上的正常排風口排出，而擴散到整個廠房。有一次，彌散的酸霧竟將廠房的窗戶上的玻璃腐蝕成了毛玻璃。室內(nèi)空氣中氟化氫因送風口的渦流作用接觸HEPA過濾器的表面，將玻璃纖維過濾材料迅速腐蝕，造成了HEPA破損漏風。這樣的事我們曾經(jīng)遇到，HEPA過濾器剛換上去不到一年，就毀了。而這樣的情況發(fā)生時，凈化設(shè)備運行的人員，可能不會立即發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)線的操作人員不當?shù)牟僮?，只能事先預防。

在國內(nèi)眾多生產(chǎn)彩色顯象管的企業(yè)中，只有個別企業(yè)在有氫氟酸的車間采用全新風空調(diào)系統(tǒng)，以避免氫氟酸對空調(diào)系統(tǒng)，尤其是對過濾器的損害。上面提到的事例恰恰發(fā)生在最安全的全新風空調(diào)系統(tǒng)。多數(shù)企業(yè)出于節(jié)能考慮，同類車間采用的是少部分新風、大部分回風的空調(diào)系統(tǒng)，那些工廠的氫氟酸腐蝕過濾器問題可能更嚴重。在這里，我們僅說到了氫氟酸對設(shè)備的傷害，如果考慮它對操作工的傷害，空調(diào)行業(yè)可能需要對有氫氟酸車間的空調(diào)系統(tǒng)進行重新設(shè)計。